芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運(yùn)動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實(shí)現(xiàn)Z 軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)具有超高的分辨率，閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級，是光學(xué)移相器的選擇。

芯明天直驅(qū)機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺P77壓電掃描臺典型應(yīng)用

• 顯微成像

• 表面檢測

• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

• 干涉/計(jì)量

• 精密定位

• 移相器 •

 光學(xué)捕獲

應(yīng)用案例

大孔徑、大承載、高諧振頻率

P77系列壓電掃描臺采用優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)， 利用有限元分析優(yōu)化， 剛度可達(dá)8 N/ μm，空載諧振頻率 300Hz。

閉環(huán)版本內(nèi)置高精度傳感器，對位移實(shí)時(shí)監(jiān)測反饋，可 實(shí)現(xiàn)納米級的重復(fù)定位精度及線性度。

壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，該產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于激光平面干涉儀等設(shè)備。

芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特 點(diǎn)廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。

P77壓電掃描臺特性：

Z軸運(yùn)動

• 大行程20μm

• 大承載5kg

• 通孔直徑：Ø106mm

技術(shù)參數(shù)：